Dwuosiowy marmurowy moduł silnika liniowego

Zbudowany na bazie granitu klasy 00 (wybranej ze względu na niski współczynnik rozszerzalności cieplnej i właściwości tłumienia drgań), ten dwuosiowy moduł silnika liniowego z marmuru integruje dwie wysokowydajne osie silnika liniowego z prowadnicami z łożyskami powietrznymi, aby zapewnić dokładność powtarzania ± 0,5 μm – idealny do litografii półprzewodników, mikroobróbki laserowej, kontroli optycznej i precyzyjnych systemów metrologicznych.

Zaprojektowany, aby przezwyciężyć ograniczenia dwuosiowych stopni aluminiowych lub stalowych (dryft termiczny, wibracje, niska sztywność), nasz dwuosiowy marmurowy moduł silnika liniowego eliminuje odkształcenia mechaniczne pod wpływem ruchu z dużą prędkością (do 2 m/s na oś) i utrzymuje stałą precyzję w temperaturach roboczych (-10 ℃ do 40 ℃). Synchroniczny system sterowania osi X-Y (oparty na EtherCAT) umożliwia synchronizację ruchu na poziomie nanometrów, co ma kluczowe znaczenie dla ultraprecyzyjnych procesów, takich jak pakowanie chipów 7 nm, wytwarzanie komponentów mikrooptycznych i zaawansowane pomiary 3D.

Wyprodukowany zgodnie z normami jakości optycznej ISO 9001:2015 i ISO 10110, moduł dwuosiowego marmurowego silnika liniowego jest wyposażony w uszczelniony system zarządzania kablami, powłokę antystatyczną i opcje kompatybilne z próżnią (do użytku w pomieszczeniach czystych półprzewodników). Kompatybilny z wiodącymi w branży sterownikami ruchu (Aerotech, PI, Newport) i systemami metrologicznymi (interferometry laserowe Renishaw), bezproblemowo integruje się z ultraprecyzyjnymi liniami produkcyjnymi, poprawiając wydajność procesu nawet o 20% w porównaniu z konwencjonalnymi dwuosiowymi stolikami na bazie metalu.

Seria produktów

Seria DT-GM-DX1 (kompaktowa precyzja)

Zakres przesuwu X-Y: 100 × 100 mm do 500 × 500 mm, dokładność powtarzania ± 0,5 μm, maksymalna prędkość 1 m/s na oś. Idealny do obróbki elementów mikrooptycznych, metrologii precyzyjnej i małoformatowych opakowań półprzewodników.

Seria DT-GM-DX2 (średnio-szybkie)

Zakres przesuwu X-Y: 500×500mm do 1000×1000mm, dokładność powtarzania ±1μm, maksymalna prędkość na oś 2m/s. Nadaje się do mikroobróbki laserowej, naprawy paneli LCD, średnioformatowej inspekcji optycznej.

Seria DT-GM-DX-VAC (kompatybilna z próżnią)

Zakres przesuwu X-Y: 100×100mm do 800×800mm, dokładność powtarzalności ±0,5μm, wartość podciśnienia 10⁻⁶ mbar. Zaprojektowany do zastosowań w pomieszczeniach czystych półprzewodników, powlekania próżniowego i systemów symulacji przestrzeni.

Podstawowe zalety

1. Podstawa granitowa klasy 00 zapewniająca niezrównaną stabilność

Wykonana z naturalnego granitu klasy 00 (współczynnik rozszerzalności cieplnej ≤0,5×10⁻⁶/℃), podstawa zapewnia wyjątkową stabilność termiczną (≤0,001mm/℃) i tłumienie drgań (tłumi 80% wibracji o wysokiej częstotliwości). Eliminuje to dryft termiczny i rezonans mechaniczny – typowe problemy w przypadku stopni metalowych – w ultraprecyzyjnych procesach produkcyjnych.

2. Submikronowa precyzja z prowadnicami na łożyskach powietrznych

Zintegrowane prowadnice liniowe z łożyskami powietrznymi (zamiast tradycyjnych łożysk kulkowych) eliminują tarcie i zużycie, osiągając dokładność powtarzalnego pozycjonowania ±0,5 μm i rozdzielczość 1 nm (za pośrednictwem enkoderów absolutnych firmy Renishaw). Bezkontaktowa konstrukcja zapewnia bezobsługową pracę przez ponad 100 milionów cykli, co ma kluczowe znaczenie w przypadku ultraprecyzyjnej produkcji na dużą skalę.

3. Sterowanie ruchem synchronicznym w osi X-Y

Sterowanie ruchem w czasie rzeczywistym oparte na technologii EtherCAT umożliwia synchronizację na poziomie nanometrów między osiami X i Y (błąd synchronizacji ≤50 nm), obsługując złożone profile ruchu (interpolacja kołowa, skanowanie spiralne) wymagane w mikroobróbce laserowej i tworzeniu wzorów optycznych. Otwarta architektura jest kompatybilna z oprogramowaniem motion innych firm (LabVIEW, MATLAB).

4. Wysoka sztywność i niskie odkształcenie

Wzmocniona konstrukcja granitowa ze zintegrowanym użebrowaniem zapewnia sztywność ≥300N/μm, minimalizując ugięcie pod obciążeniami dynamicznymi (do 50kg na oś). Ta stabilność zapewnia stałą precyzję nawet podczas dużych prędkości przyspieszania (1 g), zmniejszając zmienność procesu i poprawiając wydajność produktu.

5. Możliwość dostosowania do zastosowań ultraprecyzyjnych

Pełna personalizacja zakresu skoku (100×100mm do 1000×1000mm), rozdzielczości enkodera (1nm do 1μm), kompatybilności próżniowej (10⁻³ do 10⁻⁶ mbar) i wykończenia powierzchni (Ra ≤0,02μm). Opcjonalne funkcje obejmują powłokę antystatyczną, materiały odpowiednie do pomieszczeń czystych i zintegrowaną interferometrię laserową do kalibracji na miejscu.

6. Niezawodność klasy przemysłowej do stosowania w pomieszczeniach czystych

Stopień ochrony IP67 (standard) / IP68 (wersja próżniowa), powłoka antystatyczna (10⁶-10⁹ Ω/m2) i niska emisja cząstek (zgodny z klasą 1 pomieszczeń czystych) sprawiają, że nadaje się do fabryk półprzewodników i pomieszczeń czystych do produkcji elementów optycznych. MTBF ≥40 000 godzin ciągłej pracy, co pozwala obniżyć całkowity koszt posiadania (TCO) o 30% w ciągu 5 lat.

Dane techniczne

Podstawa granitowa (klasa 00) ± 0,5 μm Dokładność powtarzania pozycjonowania Ruch synchroniczny w osi X-Y Stabilność termiczna (≤0,001 mm/℃) Wysoka sztywność (≥300 N/μm)

Scenariusze zastosowań

Dwuosiowe marmurowe moduły silników liniowych firmy Deaote zostały zaprojektowane z myślą o ultraprecyzyjnej produkcji w globalnych sektorach zaawansowanych technologii:

● Półprzewodniki i mikroelektronika: pakowanie chipów 7 nm/5 nm, kontrola płytek, osiowanie litograficzne, produkcja urządzeń MEMS

● Produkcja optyczna: obróbka elementów mikrooptycznych (soczewek, pryzmatów), montaż matrycy światłowodowej, wzornictwo laserowe na podłożach szklanych

● Metrologia precyzyjna: pomiary optyczne 3D, etapy ruchu maszyny współrzędnościowej (CMM), profilowanie powierzchni na poziomie nanometrów

● Mikroobróbka laserowa: ablacja laserowa, mikrowiercenie, precyzyjne grawerowanie twardych materiałów (krzem, szafir, ceramika)

● Przemysł lotniczy i obronny: produkcja mikrosensorów, kalibracja elementów nawigacji inercyjnej, montaż satelitarnego systemu optycznego

O Deaote'u

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. to wiodące przedsiębiorstwo high-tech specjalizujące się w badaniach i rozwoju, produkcji i sprzedaży ultraprecyzyjnych komponentów ruchu, ze szczególnym uwzględnieniem modułów silników liniowych na bazie granitu dla światowych rynków półprzewodników, optycznych i lotniczych. Dzięki ponad 15-letniemu doświadczeniu w zakresie precyzyjnych form i ultraprecyzyjnego projektowania systemów ruchu obsługujemy klientów w Europie, Ameryce Północnej, Japonii i Korei w zaawansowanych sektorach produkcyjnych.

Nasze dwuosiowe marmurowe moduły silników liniowych są opracowywane w naszym dedykowanym ultraprecyzyjnym laboratorium badawczo-rozwojowym zajmującym się ruchem, wykorzystując zaawansowaną obróbkę granitu (tolerancja ± 0,001 mm), kalibrację laserową i technologie montażu łożysk powietrznych w celu osiągnięcia dokładności poniżej mikrona. Świadczymy kompleksowe usługi dostosowywania — od projektowania modułów i prototypowania po kalibrację na miejscu i globalne wsparcie techniczne — zapewniając, że nasze rozwiązania spełniają unikalne wymagania ultraprecyzyjnych linii produkcyjnych.

Dążąc do „precyzji na poziomie nanometra, stabilności na całe życie”, Deaote inwestuje 20% rocznych przychodów w badania i rozwój w celu opracowania ultraprecyzyjnych rozwiązań ruchowych nowej generacji. Nasz zakład produkcyjny posiadający certyfikaty ISO 9001:2015 i ISO 10110 oraz globalna sieć serwisowa zapewniają szybki czas reakcji (≤48 godzin) i lokalne wsparcie techniczne, co czyni nas zaufanym partnerem dla producentów wysokiej klasy ultraprecyzyjnego sprzętu na całym świecie.